پاورپوینت زدایش یا لایه برداری در نیمه هادی ها

بخشی از متن:
لایه برداری برداشت انتخابی یک ماده می باشد. ملاحظات لازم برای انتخاب یک پروسه لایه برداری خاص:
1- میزان لایه برداری: اندازه ضخامت لایه برداشته شده در واحد زمان
2- درجه انتخاب: نسبت میزان لایه برداری ماده مورد نظر نسبت به مواد دیگر
3- لایه برداری همه سویه: لایه برداری در همه جهات و به میزان برابر
4- لایه برداری یک سویه: لایه برداری خیلی زیاد در یک جهت نسبت به جهات دیگر

فهرست مطالب:
لایه برداری
انتقال الگو
lift-off (بلند کردن لایه های ناخواسته)
روش خورندگی
انواع زدایش
روشهای زدایش
زدایش مرطوب (wet etching)
نکاتی درباره لایه برداری تر
زدایش خشک
پلاسما
Type of Dry Etching Technology
بررسی فیزیکی سطح وپلاسما (sputtering)
Ion Milling
Dry chemical etching mechanisms
Reaction Ion Etching
مواد استفاده شده در زدایش
مقایسه

---

جهت دانلود اینجا کلیک کنید