در این پژوهش مکانیسم آنالیز RBS بطور کامل به همراه فیلم آموزشی مورد بررسی و مطالعه قرار گرفته است،چکیده: اين روش رايج مشخصهسازي لايههاي نازك، با استفاده از پرتوهاي يوني سبک و پرانرژي (چند صد مگا الكترون ولت) انجام ميشود. چنين پرتوهايي ميتوانند هزاران آنگسترم يا حتي چند ميكرون به عمق لايه و يا ..
دسته بندی: فنی و مهندسی » مواد و متالوژیتعداد مشاهده: 685 مشاهده
فرمت فایل دانلودی:.doc
فرمت فایل اصلی: doc
تعداد صفحات: 15
حجم فایل:170 کیلوبایت
اين روش رايج مشخصه سازي لايههاي نازك، با استفاده از پرتوهاي يوني سبک و پرانرژي (چند صد مگا الكترون ولت) انجام ميشود. چنين پرتوهايي ميتوانند هزاران آنگسترم يا حتي چند ميكرون به عمق لايه و يا تركيب لايه/ زيرلايه نفوذ كنند. اين پرتوها باعث کندوپاش جزيي اتمهاي سطح شده و در عوض يونهاي فرودي انرژي خود را از طريق يونيزاسيون و تحريك الكترونهاي اتمهاي هدف از دست ميدهند. اين برخوردهاي الكتروني آنقدر زياد است كه ميتوان گفت افت انرژي حاصله همواره با عمق ماده مناسب است. از تحليل افت انرژي يون هاي بازگشتي مي توان اطلاعاتي راجع به ضخامت لايه و نوع عناصر به دست آورد.