بخشی از متن:
لیتوگرافی فرایند متداول در ساخت مدارات مجتمع می باشد.
بطور کلی هدف لیتوگرافی ایجاد الگوی مناسب بر روی ویفر می باشد.
انتقال طرح مورد نظر از یک ماسک به ویفر
بررسی انواع مختلف اشعه استفاده شده در فرآیند لیتوگرافی
بررسی روشهای اتصال ماسک به ویفر
فهرست مطالب:
مقدمه
تاریخچه
اساس لیتوگرافی
نقاب ها
روش های لیتوگرافی
نتیجه گیری
منابع
![](http://up.ba-everything.ir/view/1139824/download.png)
جهت دانلود اینجا کلیک کنید